非接觸式激光測量由激光器產生線型光束，以一定的傾角投射到待測量目標上，由于待測與基板存在高度差，此時觀測到的目標和基板上的激光束相應出現斷續落差，根據三角函數關系可以用觀測到的落差計算出待測目標與周圍基板存在高度差，從而實現非接觸式的快速測量。

　　

　　非接觸式激光測量采用非接觸式測量材料應變，測量精度高。使用高速激光掃描儀測度試樣上反射帶之間的空間。標距根據用戶要求制定。從而可以實現小標距進行高延伸量測量。分辨率高從而也可以進行小應變的精確測量。該掃描光束始終保持與試樣垂直，這樣減小了通過觀察窗觀察產生的誤差，同時，將與試樣之間的距離靈敏度降到低點。由于該測量的是反射光,在試樣背面不需要接收器。

　　

　　為了驗證非接觸式激光測量的正確性，還對樣品進行了同步熱偶測溫。在激光入射點1cm處的玻璃樣品表面緊貼另一K型熱電偶，熱偶合金焊接頭用銀漿粘在玻璃表面。這樣既可以增加接頭與玻璃表面的熱接觸面積，增加熱傳導，又可以反射到達接頭表面的熱輻射，減小熱偶本身因吸收輻射升溫引起的測量偏差。熱電偶的導線通過真空密封接線口接出真空腔室外。熱偶溫度采用電壓測量端口測量，并與激光干涉探頭數據同步記錄下來。熱偶的溫度-電壓關系通過純水的冰沸點校準。